阿贝误差是由导轨的角误差和工作点与驱动机构(滚珠丝杠)或反馈机构(线性编码器)之间的偏移距离引起的位移误差。俯仰是围绕与运动方向垂直的水平面上的旋转角度误差。如果被测量点的位置不在旋转中心,那么俯仰将在XY轴上引起阿贝误差。对于X轴,俯仰将导致在X和Z方向的阿贝误差。对于Y轴,俯仰将导致在Y和Z方向的阿贝误差。这些误差的大小可以通过×偏移距离的sin和1-cos的旋转角度来确定。
例如:X轴 Pitch角度(θ)= 10 arc sec
偏离距离(D)= 25mm
X方向误差= D×(1-cos(10 arc sec) )=25mm×(1-cos(10 arc sec))= 0.00003μm
Z方向误差= D×sin(10 arc sec)=25mm×sin(10 arc sec) = 1.18μm